Description

Book Synopsis
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Table of Contents
Der Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride Systeme

Mikrosystemtechnik: Prozessschritte,

    Product form

    £28.49

    Includes FREE delivery

    RRP £29.99 – you save £1.50 (5%)

    Order before 4pm tomorrow for delivery by Sat 1 Aug 2026.

    A Paperback / softback by Ulrich Hilleringmann

    Out of stock

      Trusted by thousands of customers. See 2,385+ Customer Reviews

      View other formats and editions of Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, by Ulrich Hilleringmann

      Publisher: Springer Fachmedien Wiesbaden
      Publication Date: Publication Date: 25/04/2006
      ISBN13: 9783835100039, 978-3835100039
      ISBN10: 3835100033

      Description

      Book Synopsis
      Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

      Table of Contents
      Der Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride Systeme

      Recently viewed products

      © 2026 Book Curl

        • American Express
        • Apple Pay
        • Diners Club
        • Discover
        • Google Pay
        • Maestro
        • Mastercard
        • PayPal
        • Shop Pay
        • Union Pay
        • Visa

        Login

        Forgot your password?

        Don't have an account yet?
        Create account