{"product_id":"mikrosystemtechnik-prozessschritte-technologien-anwendungen-9783835100039","title":"Mikrosystemtechnik: Prozessschritte,","description":"\u003cb\u003eBook Synopsis\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003eDieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik\/Elektronik, Optik\/Elektronik und Optik\/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.\u003cbr\u003e\u003cbr\u003e\u003cb\u003eTable of Contents\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003eDer Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride Systeme","brand":"Springer Fachmedien Wiesbaden","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":50471673889111,"sku":"9783835100039","price":28.49,"currency_code":"GBP","in_stock":false}],"url":"https:\/\/bookcurl.com\/products\/mikrosystemtechnik-prozessschritte-technologien-anwendungen-9783835100039","provider":"Book Curl","version":"1.0","type":"link"}